10毫米大口徑壓電MEMS快反鏡問世

來源：中國(guó)科學(xué)報(bào) 更新時(shí)間：2025-05-14 15:03:30 [我要投稿]

中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所研究員武震宇、助理研究員王櫟皓團(tuán)隊(duì)，開發(fā)了一種高性能的10毫米大口徑壓電MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）快反鏡，能夠?qū)崿F(xiàn)更精確的激光光束閉環(huán)控制，可滿足激光星間鏈路對(duì)高精度、快速響應(yīng)與穩(wěn)定性的需求，為衛(wèi)星通信終端提供小型化高性 ...[查看原文]

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