電子工業(yè)中小型化趨勢材料顯微鏡研究（之一）
如今的電子工業(yè)中，其在對小型化的趨勢已經
受到很多年的關注，不過這樣的趨勢在過去幾年
中，對光學和力學領域的影響較大，
這種情況主要是將機械系統(tǒng)進行轉換，將其系
統(tǒng)已經小型化到了微米尺寸，這類情形可以在半
導體的制造研究中找到，
如果說其在對硅結構進行精細處理，利用專門
知識來在生產方面進行相關設備的配備，
現(xiàn)在，多數(shù)微機點系統(tǒng)中使用的都是電子和光
學，以及機械性能方面的組件構成的，還有微光
機電系統(tǒng)也是這樣。
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