非接觸式檢測技術研究測量顯微鏡對象（之二）
這種技術在國外，已經嘗試將非接觸式技術使
用在對現場加工的試樣進行測量，其在理論方面
使用了光學原理，還包括了反射和散射光的作
用，等等多種現象的介紹，
首先，光干涉法，其所借助的就是光學干涉原
理方面的一種測量技術，在國內清華大學的教授
，也提出過不一樣的原理，
如：可以采用被側表面的激光反射圖，將其暗
區通過使用表面粗糙度，進行實時的測量，
我國對長城的計量測試，使用的技術是掃描測
量技術，通過自動圖像的處理系統，然后借助干
涉顯微鏡中多得到的干涉圖像，再進行自動分
析和檢測，
這樣的技術，不僅在檢測速度方面得到了提高，
而且對干涉圖像的判讀分辨率也有了一定的提高，
這樣的技術，在超精加工的產品進行檢測中提
供了重要的手段。
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